由于各种真空泵系统的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外,尚具有不同之处。因此在选用时必须明确泵在真空泵系统中所承担的工作任务是十分重要的,泵在各种不同工作领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面。
各种不同的真空泵在真空泵系统中有不同的作用,常见的真空泵包括以下几种:
1. 旋片泵:旋片泵是一种常见的机械泵,通过转动的旋片将气体排出真空室,用于实现初级真空的抽取。旋片泵适用于比较干净的气体,但对于含有大量水分或其他腐蚀性气体的场合不适用。
2. 动态分子泵:动态分子泵是一种高真空泵,主要通过高速旋转的转子使气体分子受到冲击,从而实现气体的排出。动态分子泵适用于高真空要求的场合,对于含有轻质气体和蒸汽的气体有较好的抽取效果。
3. 污染式离子泵:污染式离子泵是一种特殊的真空泵,它通过发射高能离子去污,将气体分子中的杂质和污染物除去,从而实现高真空的抽取。污染式离子泵适用于对高纯度的气体和精密仪器装置的高真空要求。
4. 涡旋泵:涡旋泵是一种容积式真空泵,通过连续的容积与排气相隔离的工作,实现气体的排出。涡旋泵适用于对气体压缩比要求较低的场合,能够实现较高真空度。
5. 离心泵:离心泵是一种通过离心力将气体排出的真空泵,主要用于大流量和较低真空度的应用。离心泵适用于需要快速排除大量气体的场合,但真空度较低。
不同的真空泵可以根据不同的工作原理和性能特点在真空泵系统中相互协作,实现不同真空度、流量和清洁度的要求。 /