真空泵系统卡死通常是由于以下几个原因引起的：
真空泵机械部件异常：可能是由于机械部件出现损坏、磨损过度、润滑不良等问题导致卡死。此时，需要检查泵的机械部件，查找并修复或更换有问题的部件。
液体进入泵腔：如果液体进入真空泵腔，可能导致液体在泵腔内凝固，导致泵卡死。这可能是由于系统泄漏、液体倒灌等问题引起的。处理方法包括检查并修复泄漏点、清理泵腔内的液体，并重新启动泵。
沉积物的堆积：在使用过程中，真空泵内部可能会出现沉积物的堆积，导致泵腔中的部件被粘结在一起，造成卡死。解决方法是进行泵的清洁和维护，排除沉积物。
供气问题：供气不稳定，压力过高或过低，也可能导致真空泵卡死。检查气源供应，确保供气稳定和正常。
针对真空泵系统卡死的处理方法，首先需要安全停机，切断电源。然后根据具体情况，进行排查和修复。注意在处理问题时，遵循相关安全操作规程，并根据设备的使用说明进行操作。如果无法解决问题或不确定如何处理，建议咨询专业的维修人员或真空设备制造商的技术支持。 /